銅(Cu)的熱膨脹系數為αs=16.4×10-6 cm/cm·℃。銅的硬度比較大,銅制密封圈在使用前必須在真空或氫氣中進行退火處理,消除內應力。無氧銅是目前超高真空密封聯接中常用的密封圈材料。其不足之處是高溫烘烤中與大氣接觸部分會氧化,因此,在要求高的情況下,將無氧銅的密封圈的表面鍍一層金,使其具有更好的密封性能。
作為聯接用的法蘭盤材料也必須能承受高溫烘烤以及在高溫時仍有良好的力學性能。常用的材料是不銹鋼。法蘭密封表面的粗糙度和尺寸就精度均應滿足超高真空密封的要求。
密封的功能就是阻止泄漏,有效阻止泄漏是對密封裝置的首要要求。密封性反映對泄漏的控制水平。對運動密封而言,摩擦力是一個與運動質量有關的重要因素。而密封和摩擦總是互相制約。一般地說提高密封性會帶來摩擦力的增加,摩擦力增加直接導致運動能力與質量的降低;并且摩擦力會加速密封的磨損。摩擦力還可能成為低壓系統負載的主要內容。密封的耐性的能力反映了可以密封的工作介質的高壓力,是液壓氣動密封的重要指標。
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